VF-S2230-5DZ-02SMC先導式電磁閥

   動作原理
      旦手輪順時針回轉(zhuǎn)，設(shè)定彈簧力使膜片及主閥推下，
      VAC側(cè)和SET側(cè)接通，SET側(cè)的真空度增加（向真空變化）。
      然后，SET側(cè)的真空壓力通過氣路進入真空室，作用在膜片上方，
      與設(shè)定彈簧的壓縮力相平衡，則SET側(cè)的壓力便被設(shè)定。
      若SET側(cè)的真空度比設(shè)定值高（向絕
      對真空變化），設(shè)定彈簧力和真空室的SET側(cè)壓力失去平衡，膜片被上拉，
      則主閥芯關(guān)閉，大氣吸入閥芯開啟，大氣流入SET側(cè)，當設(shè)定彈簧的壓縮力與SET側(cè)
      壓力達到平衡時，SET側(cè)真空壓力便被設(shè)定。

VF-S2230-5DZ-02SMC先導式電磁閥
      若SET側(cè)的真空度比設(shè)定值（向大氣壓力變化），
      設(shè)定彈簧力和真空室的SET側(cè)壓力失去平衡，膜片被推下，則大
      氣吸入閥芯關(guān)閉，主閥芯開啟，VAC側(cè)和SET側(cè)接通，
      SET側(cè)的真空度增加，
      設(shè)定彈簧的壓縮力與SET側(cè)壓力達到平衡時，SET側(cè)的真空壓力便被設(shè)定。
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